『3DCTシリーズ』は、独自技術のユーセントリック(着目中心回転)機能により、
着目したポイントを“ミクロの眼”さらには“ナノの眼”で、360度方向からの
透視観察と高倍率CT撮影を行うことが出来る3次元X線CTシステムです。
超高倍率(2,000倍)、ナノオーダーのフォーカスサイズ(250/800nm)を実現した
超高分解能モデル「XVA-160αII」をはじめ、スタンダードモデル「XVA-160R」、
ワイドレンジモデル「Si-230/300」などをラインアップ。
小型化・高密度化・多層化する高機能な電子部品を、高精度に非破壊解析する
ために数多く採用されています。
【XVA-160αII”Z”特長】
超高倍率(2,000倍)、ナノオーダーサイズ(250/800nm)を
実現した、超高分解能モデルです。
指紋センサーの透過像や断層像、エレクトロマイグレーションの断層像
などの撮影事例があり、ユーセントリック機能をはじめ、光軸・回転中心・
フォーカス自動調整機能など多数の機能を搭載しています。
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基本情報
【XVA-160αII”Z”標準仕様】
■フラットパネルディテクタ
■ユーセントリック機能
■高倍率(2,000倍)
■フォーカスサイズ切り替え機能(250/800nm)
■高精細トップテーブル
■光軸・回転中心・フォーカス自動調整機能
【製品ラインアップ】
■高分解能/広視野モデル
・XVA-160αII
・XVA-160R
・EVA-160
■高出力モデル
・Si-230/300
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