東芝ライテック株式会社

次世代ソリューション事業本部 UV水殺菌システム部

紫外線殺菌装置 マイクロエレクトロニクスおよび半導体製造用途向け

最終更新日: 2024-04-04 13:24:37.0
持続可能な取組を通じて製品の回路不良のリスクを低減!化学薬品を使用しない水処理

当社で取り扱う紫外線ランプ搭載水殺菌装置「ULTRAAQUA」の、
マイクロエレクトロニクスおよび半導体製造用途についてご紹介いたします。

マイクロエレクトロニクスや半導体業界では、洗浄に使用する超純水(UPW)には、
生産部品に悪影響を与えないよう高い品質が求められます。

当装置のUV技術は、水中の全有機炭素(TOC)濃度を制御できるため、
高品質の超純水を確保するのに適しています。

【マイクロエレクトロニクスおよび半導体製造用途向け製品】
■TOC VUV
■LUVT LOW UVT

※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

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価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【実績例】
■半導体工場(イスラエル)

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