半導体製造装置用部材、放熱板に!
石原ケミカルではマシナブルセラミックスでの実績をもとに、高品質の加工品を短納期で提供します。
・高熱伝導率、Siに近い熱膨張率、優れた耐フッ素プラズマ性をもつ素材です。
・型不要のため試作1個からOK
◎より詳しい掲載内容につきましては、直接お問い合わせください。
・型不要のため試作1個からOK
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価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 |
半導体製造装置用部材、放熱板、熱処理炉内の治具 |
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石原ケミカル株式会社 高機能材料