UEC-1は、測定ギャップの水や油に影響されず高速な微小変位の測定に最適な渦電流方式の非接触変位計です。
100kHzの応答速度とサブミクロンオーダーの分解能を実現しています。
センサ内部のコイルに高周波電流を流して、高周波磁界を発生させます。電磁誘導作用によって、測定対象物表面に磁力線を取り囲むように渦電流が発生します。渦電流の大きさはセンサと測定対象物の距離によって変化し、これによるセンサプローブのインピーダンス変化から距離に対応した出力を得ています。
アプリケーション例
■微動ステージの高速位置決めフィードバックの変位センサとして
■高速変位測定に
■歯車の回転速度測定に(例:90歯の歯車を使うと50,000rpmも測定可能)
■2台使って歯車の正転・逆転に対応した回転角度測定に
■ピストンやバルブ、クランクシャフトの挙動の解析
■タービンロータの回転挙動、特性測定、モニタリング
■機械加工中のワークの振動測定
■ラップ盤の終点検出
基本情報
【特 長】
■測定ギャップの水や油に影響されず、高速な微小変位の測定に最適
■100kHzの応答速度と、サブミクロンオーダーの分解能を実現
■設置場所を選ばない超小型ボディ
■防水カバーを用意(オプション)
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用途/実績例 | ■微動ステージの高速位置決めフィードバックの変位センサとして ■高速変位測定に ■歯車の回転速度測定に(例:90歯の歯車を使うと50,000rpmも測定可能) ■2台使って歯車の正転・逆転に対応した回転角度測定に ■ピストンやバルブ、クランクシャフトの挙動の解析 ■タービンロータの回転挙動、特性測定、モニタリング ■機械加工中のワークの振動測定 ■ラップ盤の終点検出 |
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