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【事例概要】
■課題:基板内の温度ばらつき
■解決方法
・適切な熱エネルギーを与えることで、オーバーシュートしづらい環境を提供
・ヒーターを独自のアルゴリズムにより制御することで、加熱プレート上の
面内温度ばらつきが±1.5%以内に収まるように設計
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■解決方法
・適切な熱エネルギーを与えることで、オーバーシュートしづらい環境を提供
・ヒーターを独自のアルゴリズムにより制御することで、加熱プレート上の
面内温度ばらつきが±1.5%以内に収まるように設計
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ユニテンプジャパン株式会社