ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。
Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。
成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。
ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い
によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータによる評価等、様々なニーズにお応え致します。
★サービスの詳細を知りたい方、ご依頼を検討されている方は
お気軽に下記「お問い合わせ」ボタンより、ご連絡ください。
【特長】
■各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能
(Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN 等)
■小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能
■当社の技術者がレシピ製作やパラメータ設定のサポート
■プリカーサのお持込みも対応可能
■定期的な小ロット生産可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【ALD装置の特長】
■プリカーサの熱分解リスクの低減
■バブリングを用いないパーティクルレス化
■供給・排気ラインの適した温度管理
■Hi-Watty(AlNヒータ)を採用したヒートステージ
■多様なカスタマイズと安全構造
■成膜種例(Al2O3、TiO2、HfO2、ZrO2、TiN、AlN 等)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
▼お問い合わせ先
TEL:相模原事業所 042-704-5352
MAIL:info@watty.co.jp
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
関連カタログ
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