ワッティー株式会社

実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD(原子層堆積)装置』

最終更新日: 2024-07-16 17:31:30.0
ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パラメータによる比較評価、膜厚測定などにも対応可能

ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。

Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。
成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。

ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い
によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータによる評価等、様々なニーズにお応え致します。

★サービスの詳細を知りたい方、ご依頼を検討されている方は
 お気軽に下記「お問い合わせ」ボタンより、ご連絡ください。

【特長】
■各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能
(Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN 等)
■小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能
■当社の技術者がレシピ製作やパラメータ設定のサポート
■プリカーサのお持込みも対応可能
■定期的な小ロット生産可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【ALD装置の特長】
■プリカーサの熱分解リスクの低減
■バブリングを用いないパーティクルレス化
■供給・排気ラインの適した温度管理
■Hi-Watty(AlNヒータ)を採用したヒートステージ
■多様なカスタマイズと安全構造
■成膜種例(Al2O3、TiO2、HfO2、ZrO2、TiN、AlN 等)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

▼お問い合わせ先
TEL:相模原事業所 042-704-5352
MAIL:info@watty.co.jp

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連カタログ

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  必須
ご要望  必須
目的  必須
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

ワッティー株式会社

製品・サービス一覧(38件)を見る