ヒーター総合カタログ

関連情報

【関連製品】
◎特注窒化アルミヒータ(Hi-Wattyシリーズ)
　・わずか5秒で600℃までの昇温に対応可能
　・円形、棒状、ひも状など幅広い形状に対応
　・製作可能寸法：130×130mmまたはφ130mm以下

※当社ではこの他にも、シリコンゴム製、マイカ製、ポリイミド製など、
　ヒータ製品を豊富にラインアップ。詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

ガス加熱用高効率ヒータ『WEXシリーズ』

【仕様】
■最高使用温度：200℃～300℃に対応
■定格流量：～100L/minまで対応可能
■定格容量：130W～1300W
■リークレート：1×10-10Pa・m3/sec以下
■熱電対：Kタイプ　クラス2
■電源：AC100　または　AC200
■サーモスタット：ディスク型　および　ブロック型
■300℃モデルにつては専用の火傷防止用　パンチングメタル外装　付属

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

マントルヒータ　Mantle heater

【主なクロスの材質】
■シルバーコートクロス：耐熱温度　200℃
■PTFEコートクロス：耐熱温度260℃　クリーンルーム対応
■PTFEフィルム：耐熱温度260℃　コストパフォーマンスに優れる
■焼成済みガラスクロス：耐熱温度　400℃　中温域用
■ハーフシリカクロス：耐熱温度　600℃　ガラスクロス+シリカクロス
■シリカクロス：耐熱温度　800℃　高温用途向け
■アルミナクロス：耐熱温度　1000℃　超高温用途向け

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

イージートレースヒータ　Easy trace heater

【仕様】
■最高使用温度：200℃
■電力密度：0.2～0.3W/cm2程度

＜配管用ヒータ外径例＞
■配管径Φ 1/4：ヒータ外径Φ 25
■配管径Φ 3/8：ヒータ外径Φ 30
■配管径Φ 1/2：ヒータ外径Φ 35

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カートリッジヒータ『wattyシリーズ』

【仕様（抜粋）】
■ヒータ使用温度：ヒータ表面温度MAX 760℃
■ヒータ径公差：φd +0, -0.1
■使用電圧：100V OR 200V
■リード線長：300mm

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ガス加熱用高効率ヒータ『ヒートエクスチェンジャーWEX UL』

【仕様】
＜WEX-UL-S2-S(UL対応)＞
■寸法：98mm×75mm×75mm
■使用温度：200℃
■定格流量：10L/Min
■定格容量：130W
■温度センサ：K熱電対
■過昇温防止：サーモスタット付
■重量：1000g～
■UL499対応：FileNo,E478998

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ガス加熱用高効率ヒータ『ヒートエクスチェンジャーWEX SS』

【仕様】
■寸法：70mm×32mm×42mm　※断熱材・配管除く
■使用温度：250℃
■定格流量：1～5L/Min
■定格容量：140W(AC100Vor200V)
■温度センサ：K熱電対
■過昇温防止：サーモスタット付
■外装断熱材：マントル(マジックテープ止め)
■重量：280g～

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ガス加熱用高効率ヒータ『ヒートエクスチェンジャー(WEX)SS』

【『ヒートエクスチェンジャー(WEX)UL』の仕様】

寸法：98mm×75mm×75mm
使用温度：200℃
定格流量：10L／min
定格容量：130W
温度センサ：K熱電対
過昇温防止：サーモスタット付
UL499対応：FileNo,E478998

※製品について詳しくはお問い合わせください。
　その他ヒータ製品についてはPDF資料をご覧ください。

実験・研究開発用途受託成膜サービス『ALD（原子層堆積）装置』

【ALD装置の特長】
■プリカーサの熱分解リスクの低減
■バブリングを用いないパーティクルレス化
■供給・排気ラインの適した温度管理
■Hi-Watty（AlNヒータ）を採用したヒートステージ
■多様なカスタマイズと安全構造
■成膜種例（Al2O3、TiO2、HfO2、ZrO2、TiN、AlN 等）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

▼お問い合わせ先
TEL：相模原事業所　042-704-5352
MAIL：info@watty.co.jp

【プロキュアシリーズ】ポリイミドヒータ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【プロキュアシリーズ】マイカヒータ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【プロキュアシリーズ】シリコンラバーヒータ

【仕様(一部)】
■耐熱温度：200℃
■許容ワット密度：3.0W/cm2
■製作可能寸法：600mm×900mm
■厚み：1.6mm
■絶縁抵抗体：DC500Vメガーにて100MΩ以上

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

真空用高精度ホットプレート

【加熱対象】
■配管・容器
■金属
■液体
■気体

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

常圧用高精度ホットプレート

【加熱対象】
■配管・容器
■金属
■液体
■気体

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

真空対応　ベークユニット

【加熱対象】
■配管・容器
■金属
■液体
■気体

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

「ガス供給ユニット」※溶接配管および特殊ガス用溶接配管の製作も

【仕様（一部）】
■製造環境：クリーンルームクラス100/1000
■対応部品メーカ：フジキン、スウェージロック、キッツエスシーティー、
　タバイエステック、CKDほか多数
■使用配管グレード：SUS316L BA、EP（WEP）
■対応配管径：φ1/8、φ1/4、φ3/8、φ1/2インチ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

窒化アルミ製セラミックヒータ

【仕様】
■最高使用温度：600℃
■発熱体：タングステン
■熱伝導率：180W/m・K以上
■熱膨張係数：4.6ｘ10-6/℃
■体積抵抗率：1013Ω・cm以上
■製作可能寸法：130×130mm　または　Φ130mm以下

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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