ワッティー株式会社

窒化アルミ製セラミックヒータ

最終更新日: 2023-07-13 09:10:18.0
高速昇温、高速冷却!金属アルミに近い熱伝導で、耐腐食性に優れています

ワッティーが提供する『窒化アルミ製セラミックヒータ(Hi watty)』は、
半導体製造装置にご使用いただけます。

純日本製高性能ヒータを使用しており、室温から600℃まで5秒で昇温。

製作可能寸法は130×130mmまたはΦ130mm以下で、カスタムが基本と
なっています。

【特長】
■5秒で600℃ 純日本製高性能ヒータ
■高速昇温、高速冷却
■金属アルミに近い熱伝導
■熱膨張が小さい
■電気絶縁性が高い
■優れた耐腐食性

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

▼お問い合わせ先
TEL:相模原事業所 042-704-5352
MAIL:info@watty.co.jp

基本情報

【仕様】
■最高使用温度:600℃
■発熱体:タングステン
■熱伝導率:180W/m・K以上
■熱膨張係数:4.6x10-6/℃
■体積抵抗率:1013Ω・cm以上
■製作可能寸法:130×130mm または Φ130mm以下

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■半導体製造装置

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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