最終更新日:
2024-07-16 17:31:30.0
高速昇温、高速冷却！金属アルミに近い熱伝導で、耐腐食性に優れています
ワッティーが提供する『窒化アルミ製セラミックヒータ（Hi watty）』は、
半導体製造装置にご使用いただけます。
純日本製高性能ヒータを使用しており、室温から600℃まで5秒で昇温。
製作可能寸法は130×130mmまたはΦ130mm以下で、カスタムが基本と
なっています。
【特長】
■5秒で600℃ 純日本製高性能ヒータ
■高速昇温、高速冷却
■金属アルミに近い熱伝導
■熱膨張が小さい
■電気絶縁性が高い
■優れた耐腐食性
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
▼お問い合わせ先
TEL：相模原事業所 042-704-5352
MAIL：info@watty.co.jp
基本情報
【仕様】
■最高使用温度：600℃
■発熱体：タングステン
■熱伝導率：180W/m・K以上
■熱膨張係数：4.6ｘ10-6/℃
■体積抵抗率：1013Ω・cm以上
■製作可能寸法：130×130mm または Φ130mm以下
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体製造装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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