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【事例紹介】Particle-PLUS 円筒型マグネトロン装置のプラズマスパッタリングシミュレーション - 最終更新日：2023-05-29 11:00:46.0
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【事例紹介】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCPプラズマシミュレーション
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材料開発シミュレーションソフトウェア『Materials Studio』
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【事例】Particle-PLUS 同時スパッタリング装置のプラズマ解析
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【事例】Particle-PLUS マイクロトレンチ上での薄膜生成の解析
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