上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
もちろんのこと、お客様の装置にあわせたカスタマイズも行っております。
関連情報
【解析事例】マグネトロンスパッタリングシミュレーション
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Particle-PLUSは、いくつかの主要なモジュールで構成されています。
■プラズマモジュール
Particle In Cell法(PIC粒子法)を用いて電子、イオンの挙動を解析します。 ソルバーの特徴として、時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな計算時間幅Δt で安定に時間発展を求めることができます。また、プロセスプラズマシミュレーションで重要となる中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには Monte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、迅速に計算できます。
■中性ガスモジュール
プラズマモジュールで用いる初期中性ガス分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます。
■スパッタ粒子モジュール
マグネトロンスパッタ装置などにおいて、ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価できます。
また、Particle-PLUSは並列計算が可能であり短時間で結果を得ることができます。
バルブやポンプの熱流体解析を承ります!
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流体解析受託サービス
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