株式会社ウェーブフロント 本社

粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

最終更新日: 2023-03-07 10:48:40.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

Particle-PLUSは粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。
Particle-PLUSは、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。二周波CCPや外部回路モデルなどの高度な物理モデルに対する解析も可能です。充実したサポートによりシミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことができます。プラズマを解析するのに粒子モデルを用い、電子・イオンを代表する粒子の運動を追跡するPIC / MC (Particle In Cell / Mote Carlo)法を採用しております。また、対象プラズマ密度に応じて比較的高密度では陰解法を、低密度では陽解法と使い分けることにより、複雑なモデルでも効率良く解くことができます。特に流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします。標準機能でのCCP、ICP、マグネトロンスパッタ計算は
もちろんのこと、お客様の装置にあわせたカスタマイズも行っております。

関連情報

【解析事例】マグネトロンスパッタリングシミュレーション
【解析事例】マグネトロンスパッタリングシミュレーション 製品画像

Particle-PLUSは、いくつかの主要なモジュールで構成されています。

■プラズマモジュール
Particle In Cell法(PIC粒子法)を用いて電子、イオンの挙動を解析します。 ソルバーの特徴として、時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな計算時間幅Δt で安定に時間発展を求めることができます。また、プロセスプラズマシミュレーションで重要となる中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには Monte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、迅速に計算できます。

■中性ガスモジュール
プラズマモジュールで用いる初期中性ガス分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます。

■スパッタ粒子モジュール
マグネトロンスパッタ装置などにおいて、ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価できます。

また、Particle-PLUSは並列計算が可能であり短時間で結果を得ることができます。

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