株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS フィルタードアーク蒸着法によるDLC成膜の解析

最終更新日: 2023-12-04 16:51:50.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

【事例】フィルタードアーク蒸着法によるDLC成膜の解析
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【さまざまな計算結果を出力】
■ポテンシャル分布
■電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
■壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
■壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
■中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布

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