粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』
『Particle-PLUS』 はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)などのシミュレーションに適したプラズマ解析ソフトウエアです。
Particle-PLUSは、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。二周波CCPや外部回路モデルなどの高度な物理モデルに対する解析も可能です。充実したサポートによりシミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことができます。プラズマを解析するのに粒子モデルを用い、電子・イオンを代表する粒子の運動を追跡するPIC / MC (Particle In Cell / Mote Carlo)法を採用しております。また、対象プラズマ密度に応じて比較的高密度では陰解法を、低密度では陽解法と使い分けることにより、複雑なモデルでも効率良く解くことができます。特に流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします。標準機能でのCCP、ICP、マグネトロンスパッタ計算はもちろんのこと、お客様の装置にあわせたカスタマイズも行っております。
基本情報
【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ●その他機能や詳細については、カタログをご覧ください。
価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
~ 1週間
型番・ブランド名
Particle-PLUS
用途／実績例
【二周波容量結合型プラズマ】 ・ 高密度プラズマを得るための電圧などの最適化 ・ チャンバー壁の損傷 ・ 外部回路モデルを用いた電力の最適化 － 現実の装置に沿った電圧を電極板に印加することが可能 － 印加電圧の波形がなめらかで比較的現実的な電圧でシミュレーションが可能 － 無理な電圧を掛けないために計算が比較的安定 【DC マグネトロンスパッタリング】 ・ 磁場分布依存のエロージョンの均一性 ・ スパッタされた材料の基板への吸着分布 【パルス電圧マグネトロンスパッタリング】 ・ 効率良く材料をスパッタさせるためのパルス電圧の印加時間などの最適化 【イオン注入】 ・ Sus がエロージョン分布に及ぼす影響 【電極板の印加電圧の時間推移】 ・ 電子密度やイオン速度分布など，実験測定では見ること困難な 物理量を見ることが可能 ・ 電子密度やイオン速度分布を調べることで，膜の均一性やチャンバー壁の損 傷を調べることが可能 ・ 計算条件を変更して，低電力で高密度プラズマ発生の最適化が可能
カタログ（14）
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この製品に関するニュース（10）
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7月3日(水)~7月5日(金)【展示会出展】ISSP2024企業展示コーナー出展のお知らせ
2024年7月3日（水）～7月5（金）表面真空学会主催にて 【ISSP2024(International Symposium on Sputtering and Plasma Processes 2024)】が開催されます。 弊社は企業展示コーナーに出展いたします。 ■展示会ホームページ https://www.issp-jvss.org/ ISSPはスパッタリングとプラズマプロセス技術に特化した国際展示会です。 2019に開催されたISSP2019以来、5年ぶりの開催となります。 弊社の展示コーナーにぜひお立ちよりください。 技術担当者による相談会や弊社開発ソフトParticle-PLUS,DSMC-Nuetralsなどの デモも実施しております!! 皆様のご来場を心よりお待ちしております。
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取り扱いCAEソリューション
様々な分野で利用可能な豊富な 「CAEソリューション 」をラインアップ ■プラズマソリューション ・低温プラズマ解析【VizGlow】 圧縮性流体モデルを採用し様々な条件のプラズマを解析 ・熱プラズマ解析【VizSpark】 アークプラズマにより発生する熱や発熱に伴う温度上昇等を解析 ・粒子法プラズマ解析【Particle-PLUS】 低圧で特に半導体関連装置向けプラズマ解析が得意 ・3次元希薄気体解析【DSMC-Neutrals】 複雑な形状の計算に対応し 装置内全体のガス流れのシミュレーションを解析 ■材料開発統合シミュレーション【Materials Studio】 結晶成長や触媒,燃料電池,潤滑剤,触媒,ポリマーなど様々な分野に対応 ■ポンプ・バルブ専用熱流体解析【PumpLinx】 様々な容積形ポンプ,コンプレッサー,バルブの流体の過渡特性を解析 ■汎用熱流体解析ソフトウェア【Simerics MP for SOLIDWORKS】 SOLIDWORKS上で操作できるCAD統合型熱流体解析 ※詳しくお気軽にお問い合わせください!
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取り扱い会社
当社は、各種プラント、工場等の設備・資産を管理・運営するための「設備保全 管理システム」を開発・販売しています。 現在、このシステムは、センサー情報やタブレット端末からの入力情報等のIoT 技術および機械学習等のAI技術を利用した故障予知機能や自動スケジューリング機能を有するシステムへと大きく進化する 過程にあります。 また、最近のDXの流れの一環で、工場の製造プロセスおよび研究開発の現場での デジタル化・自動化を行い現場の作業を効率化しようという流れが強まっています。 当社もこの流れの中で、研究開発の現場の効率化を目指すソルーションであるラ ボ管理システムLIMS（Laboratory Information Management System、ワークフローとデータ追跡・データ管理・データ分析・および電子実験ノート統合などの機能を備えた、ソフ トウェア）の提供をしています。
