マクロとミクロの両スケールから成膜プロセスを解析可能
株式会社ウェーブフロントが自社開発した、粒子法プラズマ解析ソフト
ウェア「Particle-PLUS」は基板上に微小溝(マイクロトレンチ)が
あるような場合でもマグネトロンスパッタリングの解析ができます。
「Particle-PLUS」は微小溝を含む基盤へのスパッタリング装置全体についてのマクロスケールと微小溝の部分に関するミクロスケールの両方を計算し、成膜プロセスをシミュレーションすることが可能です！
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
【仕様】
■製品名：Particle-PLUS
■価格帯：お問い合わせください
■納期：お問い合わせください
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【計算可能な事例】 ■マグネトロンスパッタ ■PVD、プラズマCVD ■容量結合プラズマ(CCP) ■電気泳動 等 【特長】 ■低圧プラズマ解析を得意とする ■軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせて、装置全体の シミュレーションを行わずに高速に結果を得ることができる ■流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションが得意 ■2D(2次元)、3D(3次元)にそれぞれ対応し、複雑なモデルでも効率良く解析可能 ■自社開発ソフトの強みとして、お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
関連ダウンロード
Particle-PLUS マイクロトレンチ上での薄膜生成の解析
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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