正確な形状を考慮した、デュアルマグネトロンスパッタの解析が可能
株式会社ウェーブフロントが自社開発した、粒子法プラズマ解析ソフト
ウェア『Particle-PLUS』は基盤とターゲットが平衡でないような装置の
場合の同時マグネトロンスパッタリングでも解析が可能です。
カットセル作成機能により正確な形状と法線方向を考慮しながら、
直交格子の特長である高精度な電場計算を行うことができます。
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
【仕様】
■製品名：Particle-PLUS
■価格帯：お問い合わせください
■納期：お問い合わせください
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■製品名：Particle-PLUS
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| 用途／実績例 |
【計算可能な事例】 ■マグネトロンスパッタ ■PVD、プラズマCVD ■容量結合プラズマ(CCP) ■電気泳動 等 【特長】 ■低圧プラズマ解析を得意とする ■軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせて、装置全体の シミュレーションを行わずに高速に結果を得ることができる ■流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションが得意 ■2D(2次元)、3D(3次元)にそれぞれ対応し、複雑なモデルでも効率良く解析可能 ■自社開発ソフトの強みとして、お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
関連ダウンロード
Particle-PLUS 同時スパッタリング装置のプラズマ解析
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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