株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】DSMC-Neutrals真空装置の排気シミュレーション

最終更新日: 2024-10-31 16:04:22.0

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真空排気の様々な情報をシミュレーションで導出可能!

当社が自社開発した3次元希薄気体解析用のソフトウェア
『DSMC-Neutrals』では、真空装置の排気シミュレーションが可能です。

種々の物理量の計算結果の図示や、過渡的なグラフをプロットすることにより
排気システムの設計・開発において実験だけでは得ることが大変な様々な
情報を簡単に見える化できます。

詳しくは、以下のURLをご覧ください。

【計算可能な事例(抜粋)】
■シャワーヘッド型熱CVD(化学気相成長)
■真空蒸着
■分子線エピタキシー(MBE)
■真空ポンプの排気
■ダストの挙動シミュレーション
■極超音速希薄流

【特長】
■粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェア
■真空チャンバーを用いる実験や装置開発に使用可能
■CVDのような化学反応を含む成膜速度、成膜分布のシミュレーションも可能
■非構造メッシュを採用しているので、実際の装置の形状そのままを、計算することが可能
■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる
■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり,品質の悪い計算格子が有っても、必ず収束解を得られる

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