本製品は出荷前に100%試験を行い、SEMI 規格に準拠した漏れ、過圧、精度、クリーン度の試験を行い、出荷いたします。
<特徴>
・防爆認証 ATEX, IECEx, (KOSHA)
・保護等級 IP67(NEMA 4)
・外部ゼロ調整機能付き
・EMC性能
・優れた温度補償性能
<製品基本スペック>
圧力レンジ(最小) -0.1...0.1 MPa
圧力レンジ(最大) -0.1...36.0 MPa
安全超過圧 圧力レンジ×2倍
受圧部材質 プロセスコネクション:316L VIM/VAR
薄膜センサー: 2.4711 / UNS R30003
表面仕上げ エレクトロポリッシュ加工
Ra ≤ 0.13 μm (RA 5); max. Ra ≤ 0.18 μm (RA 7)
出力信号 4 ... 20 mA, DC 0 ... 5 V, DC 0 ... 10 V,
総合精度 0.5% ( 0.2MPa以下では、1.0%)
基本情報
半導体ガス・高純度ガス
圧力センサ
圧力トランスミッタ
圧力トランスデューサ
価格帯 | 1万円 ~ 10万円 |
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納期 |
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型番・ブランド名 | WUC-1x シリーズ 圧力センサ/圧力トランスデューサ |
用途/実績例 | ・半導体製造装置 ・プラズマディスプレイ製造装置 ・ガス集積ユニット ・ガスキャビネット ・バルブマ二ホルド ・高純度ガス圧力測定 ・半導体特殊ガス圧力測定 |
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