ビカ・ジャパン株式会社

【半導体ガス】 WUC-1x 圧力トランスデューサ

最終更新日: 2024-11-01 09:48:25.0
【半導体ガス 高純度ガス 圧力センサ】 【超クリーン性能 高精度】 【納期2-2.5ヶ月間】*短納期対応可

本製品は出荷前に100%試験を行い、SEMI 規格に準拠した漏れ、過圧、精度、クリーン度の試験を行い、出荷いたします。

<特徴>
・防爆認証 ATEX, IECEx, (KOSHA)
・保護等級 IP67(NEMA 4) 
・外部ゼロ調整機能付き
・EMC性能
・優れた温度補償性能

<製品基本スペック>
圧力レンジ(最小) -0.1...0.1 MPa
圧力レンジ(最大) -0.1...36.0 MPa
安全超過圧     圧力レンジ×2倍
受圧部材質     プロセスコネクション:316L VIM/VAR
          薄膜センサー: 2.4711 / UNS R30003
表面仕上げ     エレクトロポリッシュ加工
           Ra ≤ 0.13 μm (RA 5); max. Ra ≤ 0.18 μm (RA 7)
出力信号      4 ... 20 mA, DC 0 ... 5 V, DC 0 ... 10 V,
総合精度      0.5% ( 0.2MPa以下では、1.0%)

基本情報

半導体ガス・高純度ガスの圧力センサ/圧力トランスデューサ

価格帯 1万円 ~ 10万円
納期 お問い合わせください
※ 短納期対応ご相談下さい
型番・ブランド名 WUC-1x シリーズ 圧力センサ/圧力トランスデューサ
用途/実績例 ・半導体製造装置
・プラズマディスプレイ製造装置
・ガス集積ユニット
・ガスキャビネット
・バルブマ二ホルド
・高純度ガス圧力測定
・半導体特殊ガス圧力測定

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  必須
ご要望  必須
目的  必須
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

ビカ・ジャパン株式会社

製品・サービス一覧(553件)を見る