最終更新日:
2024-11-01 09:48:48.0
【半導体ガス 高純度ガス】 【超クリーン性能 高精度】 【納期2-2.5ヶ月間】*短納期対応可
本製品は出荷前に100%試験を行い、SEMI 規格に準拠した漏れ、過圧、精度、クリーン度の試験を行い、出荷いたします。
<特徴>
・防爆認証 ATEX, IECEx,
・高精度モデル 総合精度0.3%以内
・長期安定性
・外部ゼロ調整機能付き
・EMC性能
・優れた温度補償性能
<製品基本スペック>
圧力レンジ（最小） -0.1...0.1 MPa
圧力レンジ（最大） -0.1...36.0 MPa
安全超過圧 圧力レンジ×2倍
受圧部材質 プロセスコネクション：316L VIM/VAR
薄膜センサー： 2.4711 / UNS R30003
表面仕上げ エレクトロポリッシュ加工
Ra ≤ 0.13 μm (RA 5); max. Ra ≤ 0.18 μm (RA 7)
出力信号 4 ... 20 mA, DC 0 ... 5 V, DC 0 ... 10 V,
総合精度 0.3%以内 ( 0.2MPa以下では、0.6%以内)
基本情報
半導体ガス・高純度ガス
圧力トランスデューサ
圧力センサ
圧力トランスミッタ
高精度モデル
| 価格帯 | 1万円 ~ 10万円 |
|---|---|
| 納期 |
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※ 短納期対応ご相談下さい |
| 型番・ブランド名 | WU-2x シリーズ 圧力センサ / 圧力トランスミッタ / 圧力トランスデューサ |
| 用途／実績例 | ・半導体製造装置 ・プラズマディスプレイ製造装置 ・ガス集積ユニット ・高純度ガス圧力測定 ・半導体特殊ガス圧力測定 |
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