シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」 < 洗浄工程 > ・ 界面活性剤・純粋スクラブ洗浄 ・ 薬液スプレー ・ メガソニックスポットシャワー ・ スピン乾燥< 洗浄対象物 > 各種ウェハ ・ Si(シリコン) ・ 石英 ・ 酸化物 ・ 化合物等< 対応ウエハ口径 > ・ φ2”~φ4” ・ φ6”~φ8” < その他 > 単機能のスクラブ洗浄装置、薬液の使用、 ドライ・ウェットのローダー・アンローダー付タイプ、 複数チャンバータイプなど、ご予算・ご要望に応じて対応致します。 洗浄方法についてのご相談など、お気軽にご相談ください。
1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機 【用途例】・異物(有機物、無機物)の除去・金属イオンの除去【洗浄工程】・界面活性剤、純水スクラブ洗浄・薬液スプレー・メガソニックスポットシャワー・スピン乾燥【洗浄対象物】各種ウェハ・Si(シリコン)・石英・酸化物・化合物 など※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。