株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)

1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機

最終更新日: 2024-05-30 15:19:42.0
シングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研究開発や小ロット生産に対応

『1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機』は、
高圧スプレーや超音波スプレー、薬液等の非接触洗浄、
ブラシ等の接触洗浄など、様々な組み合わせが可能な洗浄機です。

1つのチャンバーで洗浄からスピン乾燥まで完結し、
省スペース設計のため、設置スペースとコストの削減に貢献します。

各種装置構成、薬液構成、目的とする洗浄性能やご予算など、
ニーズに応じて最適な装置構成をご提案可能です。

【特長】
■各種洗浄方法・薬液を組み合わせ可能
■研究開発用途や小~中規模の現場に対応
■SiC、GaN、LTなどの小径ウェハ、
 パワー半導体の新素材を開発・生産している現場にも好適
■対応ウェハサイズ:3インチ~6インチ(8~12インチも別途ご相談により対応)

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

基本情報

【用途例】
・異物(有機物、無機物)の除去
・金属イオンの除去

【洗浄工程】
・界面活性剤、純水スクラブ洗浄
・薬液スプレー
・メガソニックスポットシャワー
・スピン乾燥

【洗浄対象物】
各種ウェハ
・Si(シリコン)
・石英
・酸化物
・化合物 など

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ■各種ウェハー洗浄

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