『1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機』は、
高圧スプレーや超音波スプレー、薬液等の非接触洗浄、
ブラシ等の接触洗浄など、様々な組み合わせが可能な洗浄機です。
1つのチャンバーで洗浄からスピン乾燥まで完結し、
省スペース設計のため、設置スペースとコストの削減に貢献します。
各種装置構成、薬液構成、目的とする洗浄性能やご予算など、
ニーズに応じて最適な装置構成をご提案可能です。
【特長】
■各種洗浄方法・薬液を組み合わせ可能
■研究開発用途や小~中規模の現場に対応
■SiC、GaN、LTなどの小径ウェハ、
パワー半導体の新素材を開発・生産している現場にも好適
■対応ウェハサイズ:3インチ~6インチ(8~12インチも別途ご相談により対応)
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報
【用途例】
・異物(有機物、無機物)の除去
・金属イオンの除去
【洗浄工程】
・界面活性剤、純水スクラブ洗浄
・薬液スプレー
・メガソニックスポットシャワー
・スピン乾燥
【洗浄対象物】
各種ウェハ
・Si(シリコン)
・石英
・酸化物
・化合物 など
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
価格帯 | お問い合わせください |
---|---|
納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ■各種ウェハー洗浄 |
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)
洗浄装置 WET CLEANER
散布装置 SPACER SPRAYER
- 静電気除去装置 LINE IONIZER
- 検査装置 INSPECTION
高圧パルスジェット DP-GUN
研磨装置 POLISHER
- すべての製品・サービス