< 洗浄工程 >
・ 界面活性剤・純粋スクラブ洗浄
・ 薬液スプレー
・ メガソニックスポットシャワー
・ スピン乾燥
< 洗浄対象物 >
各種ウェハ
・ Si(シリコン)
・ 石英
・ 酸化物
・ 化合物等
< 対応ウエハ口径 >
・ φ2”~φ4”
・ φ6”~φ8”
< その他 >
単機能のスクラブ洗浄装置、薬液の使用、
ドライ・ウェットのローダー・アンローダー付タイプ、
複数チャンバータイプなど、ご予算・ご要望に応じて対応致します。
洗浄方法についてのご相談など、お気軽にご相談ください。
・ 界面活性剤・純粋スクラブ洗浄
・ 薬液スプレー
・ メガソニックスポットシャワー
・ スピン乾燥
< 洗浄対象物 >
各種ウェハ
・ Si(シリコン)
・ 石英
・ 酸化物
・ 化合物等
< 対応ウエハ口径 >
・ φ2”~φ4”
・ φ6”~φ8”
< その他 >
単機能のスクラブ洗浄装置、薬液の使用、
ドライ・ウェットのローダー・アンローダー付タイプ、
複数チャンバータイプなど、ご予算・ご要望に応じて対応致します。
洗浄方法についてのご相談など、お気軽にご相談ください。