株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)

薬液スクラブ洗浄装置(少量生産対応装置)

最終更新日: 2023-01-16 01:56:26.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」
シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」 製品画像
< 洗浄工程 >

 ・ 界面活性剤・純粋スクラブ洗浄
 ・ 薬液スプレー
 ・ メガソニックスポットシャワー
 ・ スピン乾燥

< 洗浄対象物 >

 各種ウェハ
 ・ Si(シリコン)
 ・ 石英
 ・ 酸化物
 ・ 化合物等

< 対応ウエハ口径 >

 ・ φ2”~φ4”
 ・ φ6”~φ8” 


< その他 >      

 単機能のスクラブ洗浄装置、薬液の使用、
 ドライ・ウェットのローダー・アンローダー付タイプ、
 複数チャンバータイプなど、ご予算・ご要望に応じて対応致します。
 洗浄方法についてのご相談など、お気軽にご相談ください。
1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機
1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機 製品画像
【用途例】
・異物(有機物、無機物)の除去
・金属イオンの除去

【洗浄工程】
・界面活性剤、純水スクラブ洗浄
・薬液スプレー
・メガソニックスポットシャワー
・スピン乾燥

【洗浄対象物】
各種ウェハ
・Si(シリコン)
・石英
・酸化物
・化合物 など

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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