株式会社吉田SKT

【課題解決事例チラシ】 吸着搬送治具のレジスト液付着防止コーティング 「半導体業界」

最終更新日: 2024-03-09 19:57:43.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2021/04/29
【無料進呈】レジスト液の付着防止と精密性を実現する『ナノプロセス(R)』解決事例を進呈
「掲載内容一部」
【解決が必要な課題】
■レジスト液の付着
■清掃時間
■コーティングの膜厚ムラ

※解決できた経緯や表面処理はPDFをダウンロードしてご覧ください

関連情報

【表面処理事例】超薄膜フッ素コーティングでレジスト液の付着防止
【表面処理事例】超薄膜フッ素コーティングでレジスト液の付着防止 製品画像
【TC-10Sの特長】
■精密性
■変化のない可視光線透過率
■高い撥水性・撥油性
■耐熱性
■高い寸法定性

【各シリーズの特長】
■TC-10S
 100nmの精密性・可視光線透過率・撥水性・撥油性に優れる
■TLSシリーズ
 ガムテープの様な粘着物の非粘着性に優れる
■NCFPCシリーズ
 水・油の液滑落性に優れる
■HPシリーズ
 親水性に優れる
 

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