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最終更新日:
2024-05-30 16:22:59.0
品質ムラの防止と歩留り向上はPADの精度がカギ!
平面研磨においてドレッサーなどでPADのメンテナンスを行っているのは
当然かもしれませんが、数値まで測定し、管理しているところは意外と
少ないものです。
研磨の特性上定盤の中央付近の凹みが大きくなる傾向にありますが、
定期的に、同じ時間で修正を行っているだけでは、
本当にメンテナンスができているのかがわかりません。
そこで、ストレートゲージを使うと全体的な形状の数値を管理することが
可能になり、生産管理がとても効率的になります。
【精度管理方法】
■1.ストレートゲージ(ダイヤルゲージ)の基準を出す
■2.定盤を計測する
(定盤計測時、柔らかいものを計測する場合はベースセットを利用)
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八千代マイクロサイエンス 株式会社