上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
研究用真空装置の製造販売、真空装置の改造などを行っている株式会社エイエルエステクノロジーの製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください。】
研究用小型真空蒸着装置は、GBOX内部で試料基板を搬送BOXに収納・密閉することで不活性雰囲気を保ち、基板を大気に曝す事無く蒸着装置に装着・処理しGBOXに戻すことが可能です。
KOREA KIYON製 不活性ガス循環精製式GBOXは、不活性ガスの雰囲気で水分、酸素量が1ppm以下に保たれるように設計されています。
各種真空装置との接続により、大気にさらすことなく連続処理が可能です。
研究用小型真空蒸着装置は、GBOX内部で試料基板を搬送BOXに収納・密閉することで不活性雰囲気を保ち、基板を大気に曝す事無く蒸着装置に装着・処理しGBOXに戻すことが可能です。
KOREA KIYON製 不活性ガス循環精製式GBOXは、不活性ガスの雰囲気で水分、酸素量が1ppm以下に保たれるように設計されています。
各種真空装置との接続により、大気にさらすことなく連続処理が可能です。
関連情報
研究開発用装置 成膜装置・グローブボックス
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[便利ツール]
○基板洗浄治具
→試料基板の洗浄に。市販ビーカーにも対応
○キャリアBOX
→試料基板・小部品の密閉搬送に最適。内部アダプター交換可能
○基板測定治具
→デバイス形状に合わせコンタクト。デバイス基板の密閉測定に
○蒸発源
→各種材料に対応した蒸発源を用意
○真空プローパー
→デバイス基板の真空測定・評価に。搬送BOXにも対応
○GBOXプローパー
→GBOX内部でのデバイス基板の測定・評価に。外部モニター付
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
お問い合わせ
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株式会社エイエルエステクノロジー