有機ELデバイス開発などに適した研究開発用装置を紹介します。
当社では、大気にさらすことなく連続処理が可能な
『研究開発用装置 成膜装置・グローブボックス』を設計・製造・販売しております
GBOX内部で試料基板を搬送BOXに収納・密閉することで不活性雰囲気を保ち、
基板を大気に曝す事無く蒸着装置に装着・処理しGBOXに戻すことが可能です。
KOREA KIYON製 不活性ガス循環精製式GBOXは、不活性ガスの雰囲気で
水分、酸素量が1ppm以下に保たれるように設計されています。
各種真空装置との接続により、大気にさらすことなく連続処理が可能です。
【特徴】
[研究用小型真空蒸着装置]
○GBOX内部で試料基板を搬送BOXに収納・密閉し、不活性雰囲気を保ち、
基板を大気に曝す事無く蒸着装置に装着・処理しGBOXに戻すことが可能
[不活性ガス循環精製式GBOX]
○不活性ガスの雰囲気で水分、酸素量が1ppm以下に保たれるように設計
○各種真空装置との接続により、大気にさらすことなく連続処理が可能
○基板洗浄治具
→試料基板の洗浄に。市販ビーカーにも対応
○キャリアBOX
→試料基板・小部品の密閉搬送に最適。内部アダプター交換可能
○基板測定治具
→デバイス形状に合わせコンタクト。デバイス基板の密閉測定に
○蒸発源
→各種材料に対応した蒸発源を用意
○真空プローパー
→デバイス基板の真空測定・評価に。搬送BOXにも対応
○GBOXプローパー
→GBOX内部でのデバイス基板の測定・評価に。外部モニター付
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研究開発用装置 成膜装置・グローブボックス
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株式会社エイエルエステクノロジー