中型機種になり吐出圧・流量とも用途幅の広いシリーズ。半導体プロセスガス、ヘリウム3等の循環用途で実績があります。
メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの
特徴を生かした容積式ポンプです。
ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。
【特長】
■優れた気密性
リークタイト 1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He)
■コンタミネーション無し
構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない
■高い耐食性
接ガス部は300シリーズステンレスを使用しバルブのガスケットにはテフロン
又はバイトンが使用。オプションでアルミＯリングガスケットを選定すると、
接ガス部をALLメタル構造にすることができる
■長寿命
運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下応力レベルで
設計、製作されているため、無限に近い運動サイクルに耐える事が出来る
※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。
【その他の特長】
■メンテナンスフリー
注油等メンテナンスは不要
■腐食性ガスでも対応可
汎用ガスをはじめ、腐食性ガスその他特殊流体等の環境下でも使用可能
■特殊仕様にも対応可
モータ（防爆、可変速、直流、特殊電圧、軽量仕様等）、
二重構造ベローズ閉込（ダブルコンテイメント）、ガスケット材質変更、
ベローズ表面処理等の様々な特殊仕様にも対応
【仕様】
■最大流量（MB-111）：28.0L/min（60Hz以上）
■最大流量（MB-151）：40.0L/min（60Hz以上）
■最大真空度（MB-111）：-64.0kPaG以下
■最大真空度（MB-151）：-74.5kPaG以下
■最大運転圧力（MB-111）：159.0kPaG
■最大運転圧力（MB-151）：275.0kPaG
■電源：単相AC115/230V 50/60Hz 115/230V
■接続：1/4NPTメス
■重量：12.7kg
※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。
■メンテナンスフリー
注油等メンテナンスは不要
■腐食性ガスでも対応可
汎用ガスをはじめ、腐食性ガスその他特殊流体等の環境下でも使用可能
■特殊仕様にも対応可
モータ（防爆、可変速、直流、特殊電圧、軽量仕様等）、
二重構造ベローズ閉込（ダブルコンテイメント）、ガスケット材質変更、
ベローズ表面処理等の様々な特殊仕様にも対応
【仕様】
■最大流量（MB-111）：28.0L/min（60Hz以上）
■最大流量（MB-151）：40.0L/min（60Hz以上）
■最大真空度（MB-111）：-64.0kPaG以下
■最大真空度（MB-151）：-74.5kPaG以下
■最大運転圧力（MB-111）：159.0kPaG
■最大運転圧力（MB-151）：275.0kPaG
■電源：単相AC115/230V 50/60Hz 115/230V
■接続：1/4NPTメス
■重量：12.7kg
※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 |
【用途】 ■ガス分析計、分析機器装置のサンプリング ■原子力発電所、研究用の放射能監視分析機器のサンプリング ■放射性同位体元素の循環、貯蔵システム ■高電圧、電子装置の冷却と導波管の加圧装置 ■高温エンジン排気ガス分析機器 ■大気汚染監視装置のサンプリング ■放射性、有毒、高価ガスの処理工程 ■商用航空機の飲料水加圧 ■半導体プロセスガスの移送、貯蔵 ■エキシマレーザー用ガス精製装置 ■各種研究、実験用途、ガス循環装置他 ※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。 |
関連ダウンロード
メタルベローズポンプMB-111／MB-151
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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株式会社ＩＢＳ
