上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
精度向上に貢献！高精度・高剛性・長ストロークのリニアステージ
『ハイブリッド・ヘキサポッド』シリーズは、
高精度・高剛性・長ストロークのリニアステージです。
XYステージ、θステージ、トライポットを組み合わせることにより、
ガタの大きかったベアリングを排除。長ストローク化も実現しました。
制御の簡易化による、大幅な精度向上に貢献します。
高精度・高剛性・長ストロークのリニアステージです。
XYステージ、θステージ、トライポットを組み合わせることにより、
ガタの大きかったベアリングを排除。長ストローク化も実現しました。
制御の簡易化による、大幅な精度向上に貢献します。
関連情報
高精度リニアステージ『トゥルー・ナノ・ポジショニング』
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【主な製品ラインアップ】
■エアベアリングZステージ
■薄型中空XYステージ
■コンパクトXYZθステージ
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オーテックス株式会社
