オーテックス株式会社

ピエゾ/ステージ 「高性能ピエゾステージ」

最終更新日: 2015-12-15 10:37:35.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

レーザー機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務などを行っているオーテックス株式会社の製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
Piezo System Jena(ピエゾシステムイエナ)社のピエゾアクチュエーターは堅牢なつくりで高剛性・高精度位置決め精度を誇ります。コンパクトなXYZ3軸ステージ、ティルトミラー、スタックタイプ対物レンズ用、スリット用ファイバースイッチなど幅広い分野にお使いいただいています。ストレンゲージセンサー、インダクティブセンサー、キャパシティブセンサー等を使用しフィードバック制御をおこなったモデルもございます。光学系のアライメントや干渉計・精密加工・精密計測・半導体関連装置などの高い位置精度が求められる分野において多数お使いいただいています。専用ドライバーも高性能・低ノイズ(3mVP-P)のため高い分解能が実現できます。
特に低ノイズが要求されるアプリケーション用に、200NVという超低ノイズドライバーも御用意しています。

関連情報

ピエゾ/ステージ 「高性能ピエゾステージ」
ピエゾ/ステージ 「高性能ピエゾステージ」 製品画像

【ラインナップ】
○ミラースキャニングアクチュエーター
○大開口顕微鏡対応薄型X-Yステージ
○開口付3軸ステージ
○コンパクト・ローノイズ3軸コントローラー
○キャリブレーションフリーデジタルコントローラー

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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