オーテックス株式会社

6-Dメカニカルステージ

最終更新日: 2016-07-08 15:56:03.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2016/7/8

6-Dクオリティで最高級のメカニカルステージ
直立、倒立での使用も可
XーYーZーΘの組み合わせ自由
PitchーYawーRoll :<10秒角ー<10秒角ー<10秒角
直交度 1秒角オプション有
真空オプション有

関連情報

6-Dメカニカルステージ
6-Dメカニカルステージ 製品画像

Hybrid Hexapodシリーズ
・可動軸:XーYーZーΘーTilt XーTilt Yの自由曲線
・X-Yストローク:60ー30mm
・Zストローク:6ー10mm
・Θストローク:360°
・Tilt X - Tilt Yストローク:±3ー±18°
・分解能:直動: 5nm, 角度: <0.04秒

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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