上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日:2016/7/8
6-Dクオリティで最高級のメカニカルステージ 直立、倒立での使用も可XーYーZーΘの組み合わせ自由
PitchーYawーRoll :<10秒角ー<10秒角ー<10秒角
直交度 1秒角オプション有
真空オプション有
関連情報
6-Dメカニカルステージ
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Hybrid Hexapodシリーズ
・可動軸:XーYーZーΘーTilt XーTilt Yの自由曲線
・X-Yストローク:60ー30mm
・Zストローク:6ー10mm
・Θストローク:360°
・Tilt X - Tilt Yストローク:±3ー±18°
・分解能:直動: 5nm, 角度: <0.04秒
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