6-Dクオリティで最高級のメカニカルステージ
ALIO社は2001年に設立以来、一貫して、Nanoにこだわって、
ステージを製造してまいりました。クロスローラーガイド、エア
ベアリング、リニアモーター、PZTモーター等、アプリケーション
に最適のステージを250種以上のスタンダードステージより組み
合わせて提供します。
Hybrid Hexapodシリーズ
・可動軸:XーYーZーΘーTilt XーTilt Yの自由曲線
・X-Yストローク:60ー30mm
・Zストローク:6ー10mm
・Θストローク:360°
・Tilt X - Tilt Yストローク:±3ー±18°
・分解能:直動: 5nm, 角度: <0.04秒
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
・可動軸:XーYーZーΘーTilt XーTilt Yの自由曲線
・X-Yストローク:60ー30mm
・Zストローク:6ー10mm
・Θストローク:360°
・Tilt X - Tilt Yストローク:±3ー±18°
・分解能:直動: 5nm, 角度: <0.04秒
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オーテックス株式会社