標準で2nmオプティカルエンコーダーを内蔵、お手軽にナノメートルオーダーの位置決めが可能です
・小型・高推力ピエゾモーター使用
アクチュエータはフリクションベースのピエゾモーターを使用しておりバックラッシュフリーで使用可能です。垂直方向の保持力は500gまでと小型ながら高い保持力を持っています。
・2nmの最小ステップ
内蔵オプティカルエンコーダで最小2nm刻みでの動作が可能です。セルフロッキングシステムで電源を切ってもポジションを保持します。
・3軸用コントローラー
コンパクトな3軸用クローズドループコントローラーです。USB接続でWindows10から簡単に設定、操作が行えます。
付属の2種類のプログラムはASCIIコマンド制御、ジョイスティックに対応します。
ストローク 20mm-50mm
分解能 2nm
最大速度 8mm/s(無負荷時)
最大荷重 <0.5kg
サイズ 45×45×14mm
分解能 2nm
最大速度 8mm/s(無負荷時)
最大荷重 <0.5kg
サイズ 45×45×14mm
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 |
位置決め 測定系 ディレイ用ステージ 多種多様なアプリケーションにて使用可能です。 |
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