ALIO社が±30°の傾き可能なハイブリッドヘキサポッド！360°回転も可能！ 高剛性長ストロークヘキサポッドステージ
ALIO Industries社のパテントテクノロジー。
パラレルキネマティックの自由度とシリアルキネマティックの精度・剛性を融合した新しいタイプのヘキサポッド "Hybrid Hexapod"。
その大きな特徴は長ストロークのヘキサポッドながら、スタンダードでも、±80nmの繰り返し精度を達成している点にあります。
従来のシステムに対して、コンパクト・高剛性・長ストローク・高精度という、大きなアドバンテージを持ち、精密加工・精密アライメント等のアプリケーションで全く新しいシステムデザインを可能にしております。
■長ストロークのパラレルキネマティック
技術的にはメーターストロークのXYが可能(スタンダードでも400mm)。Z: <205mm, θx, θy:<40°, θz: 360°のストロークを誇るTrue nanoステージ。組み合わせで小型タイプから大型タイプまでラインナップ。
■ユーザーフレンドリーなコントローラーメソッド
キネマティックな演算をコントローラーに埋め込んでいる為、ユーザーは座標制御でコントロールが可能。起動中に回転軸(TCP)をソフトウエアから任意の座標に設定可能、これにより動作を止めることなく、自由度の高い動作が可能。
■高性能モーター/光学エンコーダー採用
欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。MTBF>100,000h。
■様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。
400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
技術的にはメーターストロークのXYが可能(スタンダードでも400mm)。Z: <205mm, θx, θy:<40°, θz: 360°のストロークを誇るTrue nanoステージ。組み合わせで小型タイプから大型タイプまでラインナップ。
■ユーザーフレンドリーなコントローラーメソッド
キネマティックな演算をコントローラーに埋め込んでいる為、ユーザーは座標制御でコントロールが可能。起動中に回転軸(TCP)をソフトウエアから任意の座標に設定可能、これにより動作を止めることなく、自由度の高い動作が可能。
■高性能モーター/光学エンコーダー採用
欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。MTBF>100,000h。
■様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。
400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
| 価格情報 | お問い合わせ下さい。 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ お問い合わせ下さい。 |
| 用途／実績例 | ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
関連ダウンロード
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
オーテックス株式会社
