最終更新日:
2024-11-03 17:27:26.0
フィラー、セラミックス、絶縁薄膜、半導体薄膜等、薄膜・微小領域の熱伝導評価に！！
この装置は、世界最小クラスの分解能を誇る、革新的な熱物性測定装置です。
サンプルの熱物性を点、線、面の各レベルで詳細に測定することが可能で、従来の装置では難しかったミクロンオーダーの熱物性値分布も正確に捉えます。
さらに、この装置は非接触測定でありながら、高分解能を実現しており、従来技術では不可能だった領域を新たに開拓しました。世界初の技術を搭載し、熱浸透率の測定に加え、好条件下では熱伝導率も直接測定可能です。
この装置は、研究開発において精密な熱物性解析を必要とする場面で、他に類を見ない性能を発揮します。
〇測定原理について〇
この装置の測定原理はサーモリフレクタンス法と言う手法になります。
材料の表面温度を高精度で測定する手法の一つで、特に微小領域や薄膜材料の熱特性を調べるために使われます。
この方法は、材料の表面温度変化に伴う反射率の変化を検出し、その変化から温度を測定する技術です。
得られる結果は熱浸透率と言うパラメーターです。
熱浸透率とは物質と物質が接しているときに熱をどれだけ奪い取るかを示す物理量です。
比熱と密度により、熱伝導率や熱拡散率と相互に変換できます。
基本情報
【特徴】
○検出光スポット径３μmにより高分解能で微小領域の熱物性測定（点・線・面測定）が可能です。
○半導体レーザーによる非接触測定です。
○周期加熱を行う事で、深さの範囲を変えての測定が可能ですので薄膜・多層膜からバルク材まで測定出来ます。
〇基板上の試料も測定出来ます。
〇薄膜下のクラック・ボイド・剥離の検出が可能です。
●その他機能や詳細については、お問い合わせください。
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| 型番・ブランド名 | TM3 |
| 用途／実績例 | 【用途】 SiC, GaN, SiO2, DLc, Low-k膜, 各種フィラー, ポリイミド, 各種金属他 ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。 |
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