幅広い業界で、多様な用途に使われています。
関連情報
■設計排気速度 50 Hz: 25 - 26800 m3/h
■設計排気速度 60 Hz: 31 - 26800 m3/h
■到達真空度: 33 - 160 hPa (mbar)
■加圧: 2 bar(g)
■設計排気速度 60 Hz: 31 - 26800 m3/h
■到達真空度: 33 - 160 hPa (mbar)
■加圧: 2 bar(g)
■設計排気速度 : 3-124 / 3.6-146 m3/h (50/60 Hz)
■到達圧力：真空 : 100-150 hPa (mbar)
■到達圧力：加圧 : 0.6-1.5 bar(g)
これらの真空ポンプ製品はカタログの内容も含め、海外の仕様で記載されております。 詳しくは別途お問い合わせ下さい。
■到達圧力：真空 : 100-150 hPa (mbar)
■到達圧力：加圧 : 0.6-1.5 bar(g)
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■設計排気速度 : 160-630 m3/h (50 Hz)、190-760 m3/h (60Hz)
■到達真空度 : 0.5hPa (mbar)
■定格モーター出力 : 5.5-15.0 / 9.2-18.5 kW (50 / 60 Hz)
■お知らせ■
これらの製品はカタログの内容も含め海外の仕様で記載されております。
日本仕様についてはお気軽にお問い合わせ下さい。
■到達真空度 : 0.5hPa (mbar)
■定格モーター出力 : 5.5-15.0 / 9.2-18.5 kW (50 / 60 Hz)
■お知らせ■
これらの製品はカタログの内容も含め海外の仕様で記載されております。
日本仕様についてはお気軽にお問い合わせ下さい。
■設計排気速度 50/60 Hz：110 - 2000 / 130 - 2500 m3/h
■到達真空度 : 0.01 - 1 hPa (mbar)
※各モデルで異なります。詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
■到達真空度 : 0.01 - 1 hPa (mbar)
※各モデルで異なります。詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
■ 設計排気速度 100 ~ 600 m3/h
■ 到達真空度 0.01 ~ 0.001 hPa (mbar)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■ 到達真空度 0.01 ~ 0.001 hPa (mbar)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■設計排気速度 : 70～7,385 m³/h
■到達真空度 : 0.03～0.001 hPa (mbar)
※各モデルで異なります。詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
■到達真空度 : 0.03～0.001 hPa (mbar)
※各モデルで異なります。詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
【主要製品仕様】
■到達真空度: 20 - 200 hPa (mbar)
■加圧: 2 bar(g)
■設計排気速度 50 Hz: 40 - 950 m³/h
■設計排気速度 60 Hz: 40 - 1150 m³/h
■到達真空度: 20 - 200 hPa (mbar)
■加圧: 2 bar(g)
■設計排気速度 50 Hz: 40 - 950 m³/h
■設計排気速度 60 Hz: 40 - 1150 m³/h
ライトユーザー向けモデルHL 1102 A
【最小可検リーク量】
5 x 10-12 mbar l/s (真空法)
1 x 10-7 mbar l/s (スニッファー法)
ヘビーユーザー向けモデル HL2216 A
【最小可検リーク量】
5 x 10-12 mbar l/s (真空法)
5 x 10-9 mbar l/s (スニッファー法)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【最小可検リーク量】
5 x 10-12 mbar l/s (真空法)
1 x 10-7 mbar l/s (スニッファー法)
ヘビーユーザー向けモデル HL2216 A
【最小可検リーク量】
5 x 10-12 mbar l/s (真空法)
5 x 10-9 mbar l/s (スニッファー法)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
◆真空ポンプ・ドライポンプの詳細は、資料請求もしくはカタログダウンロード下さい◆
■性能特徴
- 到達真空度0.67Pa
- マルチ電圧
- cTUVus認証
■排気速度
最小サイズの48 l/m(50Hz),58 l/m(60Hz)から最大サイズ1500 l/m(50Hz), 1800 l/m(60Hz)まで、全8サイズ
※詳細はお問合せいただくか、PDF資料をダウンロードしてください。
- 到達真空度0.67Pa
- マルチ電圧
- cTUVus認証
■排気速度
最小サイズの48 l/m(50Hz),58 l/m(60Hz)から最大サイズ1500 l/m(50Hz), 1800 l/m(60Hz)まで、全8サイズ
※詳細はお問合せいただくか、PDF資料をダウンロードしてください。
【ラインアップ(抜粋)】
■産業界で広く採用されるRAシリーズ
■食品包装に最適なRDシリーズ
■卓上包装機などに最適な小型KBシリーズ
など
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■産業界で広く採用されるRAシリーズ
■食品包装に最適なRDシリーズ
■卓上包装機などに最適な小型KBシリーズ
など
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【掲載製品】
○オイル潤滑ロータリーベーン真空ポンプ R5ファミリー
○2段式ローターリーベーン真空ポンプ ZEBRAファミリー
○ワンス・スルー・オイル式ロータリーベーン真空ポンプ
HUCKEPACKファミリー
○スクロール式真空ポンプ FOSSAファミリー
〇ドライスクリュー式真空ポンプ COBRAファミリー
○拡散真空ポンプ RANGUファミリー
○サイドチャンネルブロワーSAMOSファミリー
○ドライクロー真空ポンプ＆コンプレッサー MINKファミリー
○ドライロータリーベーン真空ポンプ SECOファミリー
〇多段ルーツポンプTORRIファミリー
○ルーツ式真空ポンプ・ブロワー TYRファミリー
○メカニカルブースターPANDA/PUMAファミリー
※詳しくはお気軽にお問い合わせください。
またはPDF資料をダウンロードしてください。
○オイル潤滑ロータリーベーン真空ポンプ R5ファミリー
○2段式ローターリーベーン真空ポンプ ZEBRAファミリー
○ワンス・スルー・オイル式ロータリーベーン真空ポンプ
HUCKEPACKファミリー
○スクロール式真空ポンプ FOSSAファミリー
〇ドライスクリュー式真空ポンプ COBRAファミリー
○拡散真空ポンプ RANGUファミリー
○サイドチャンネルブロワーSAMOSファミリー
○ドライクロー真空ポンプ＆コンプレッサー MINKファミリー
○ドライロータリーベーン真空ポンプ SECOファミリー
〇多段ルーツポンプTORRIファミリー
○ルーツ式真空ポンプ・ブロワー TYRファミリー
○メカニカルブースターPANDA/PUMAファミリー
※詳しくはお気軽にお問い合わせください。
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■設計排気速度：160-300 m3/h (50 Hz) ,190-360 m3/h (60 Hz)
■到達真空度：0.1 hPa (mbar)
■到達真空度：0.1 hPa (mbar)
【特長】
■ 全体の運用コストを最大で50%削減
■ ほぼメンテナンスフリー
■ ドライかつ非接触の圧縮方式
■ 最新のクロー真空テクノロジー
■ コンパクト
【スペック】
■ 到達真空度 40 ~ 200 hPa
■ 設計排気速度 40 ~ 1150 m3/h
※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
■ 全体の運用コストを最大で50%削減
■ ほぼメンテナンスフリー
■ ドライかつ非接触の圧縮方式
■ 最新のクロー真空テクノロジー
■ コンパクト
【スペック】
■ 到達真空度 40 ~ 200 hPa
■ 設計排気速度 40 ~ 1150 m3/h
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●ポンプに関してその他機能や詳細については、カタログダウンロード
もしくはお問い合わせ下さい。
もしくはお問い合わせ下さい。
●製品ラインナップ
デジタルトランスミッター、アナログトランスミッター、モバイルゲージ
●用途に合わせ選べるテクノロジー
【ガスの影響を受けない真空計】
ピエゾ抵抗センサー： 測定範囲：1600 – 1 hPa (mbar)
静電容量式センサー：測定範囲： 200 – 0.1 hPa (mbar)
【ガスの影響を受ける真空計】
ピラニ：1000 – 1· 10-4 hPa (mbar)
冷陰極：ピラニセンサーと組合せ測定範囲拡大：1000 -5·10-9 hPa (mbar)
熱陰極：ピラニセンサーと組合せ測定範囲拡大：1000 -5·10-10 hPa (mbar)
デジタルトランスミッター、アナログトランスミッター、モバイルゲージ
●用途に合わせ選べるテクノロジー
【ガスの影響を受けない真空計】
ピエゾ抵抗センサー： 測定範囲：1600 – 1 hPa (mbar)
静電容量式センサー：測定範囲： 200 – 0.1 hPa (mbar)
【ガスの影響を受ける真空計】
ピラニ：1000 – 1· 10-4 hPa (mbar)
冷陰極：ピラニセンサーと組合せ測定範囲拡大：1000 -5·10-9 hPa (mbar)
熱陰極：ピラニセンサーと組合せ測定範囲拡大：1000 -5·10-10 hPa (mbar)
■設計排気速度 : 345 m3/h (20 / 60 Hz)
■到達真空度 : 150 hPa (mbar) (20 / 60 Hz)
■定格モーター出力 : 6.0 / 8.0 kW (20 / 60 Hz)
■外形寸法 (L x W x H) : 1015 x 500 x 790 mm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■到達真空度 : 150 hPa (mbar) (20 / 60 Hz)
■定格モーター出力 : 6.0 / 8.0 kW (20 / 60 Hz)
■外形寸法 (L x W x H) : 1015 x 500 x 790 mm
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COBRA NCシリーズは、中真空およ び粗引き領域の様々な用途に 好適な、堅牢で高い信頼性を備えたソリューションです。
【排気速度】COBRA NCスクリュー真空ポンプは、作動圧 が1～100 hPa（mbar）の範囲においても、安定した高排気速度を発揮できるよう設計さ れています。
【高信頼性】
排気パスの最適化により、液体や粉塵に対する耐性に優れます。全体の温度を均一に保つことで、耐食性を高めています。 極めて優 れた効率性により熱負荷を軽減し、製品寿命 を向上させます。
【用途指向】
様々な用 途に合わせたバージョンを展開しております。 また、お客様の要件に適合するよう調整が可能です。ATEX認証バージョンもご用意可能です。
〇 排気速度 110~2000 m³/h
〇 到達真空度 <0.01~1.0 hPa
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【排気速度】COBRA NCスクリュー真空ポンプは、作動圧 が1～100 hPa（mbar）の範囲においても、安定した高排気速度を発揮できるよう設計さ れています。
【高信頼性】
排気パスの最適化により、液体や粉塵に対する耐性に優れます。全体の温度を均一に保つことで、耐食性を高めています。 極めて優 れた効率性により熱負荷を軽減し、製品寿命 を向上させます。
【用途指向】
様々な用 途に合わせたバージョンを展開しております。 また、お客様の要件に適合するよう調整が可能です。ATEX認証バージョンもご用意可能です。
〇 排気速度 110~2000 m³/h
〇 到達真空度 <0.01~1.0 hPa
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基本情報：
■設計排気速度 50Hz: 40～2200 m³/h
60Hz: 48～2640 m³/h
■最大差圧(真空バージョン) 50Hz: -90 ～ -440 hPa (mbar)
60Hz: -90 ～ -440 hPa (mbar)
■最大差圧(加圧バージョン) 50Hz: +90 ～ +500 hPa (mbar)
60Hz: +90 ～ +430 hPa (mbar)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■設計排気速度 50Hz: 40～2200 m³/h
60Hz: 48～2640 m³/h
■最大差圧(真空バージョン) 50Hz: -90 ～ -440 hPa (mbar)
60Hz: -90 ～ -440 hPa (mbar)
■最大差圧(加圧バージョン) 50Hz: +90 ～ +500 hPa (mbar)
60Hz: +90 ～ +430 hPa (mbar)
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【1段式】LMシリーズ 0100/0180/0270 A
到達真空度：130hPa
設計排気速度 50/60Hz：80-220/100-270㎥/h
【1段式】LMシリーズ 0530/0800 A
到達真空度：130hPa
設計排気速度 50/60Hz：435-676/522-811㎥/h
【２段式】LTシリーズ 0130/0170/0220 A
到達真空度：33hPa
設計排気速度 50/60Hz：115-190/130-220㎥/h
【２段式】LTシリーズ 0320/0430/0510 A
到達真空度：33hPa
設計排気速度 50/60Hz：265-425/318-510㎥/h
【２段式】LTシリーズ 0630/0750 A
到達真空度：33hPa
設計排気速度 50/60Hz：526-626/630-750㎥/h
到達真空度：130hPa
設計排気速度 50/60Hz：80-220/100-270㎥/h
【1段式】LMシリーズ 0530/0800 A
到達真空度：130hPa
設計排気速度 50/60Hz：435-676/522-811㎥/h
【２段式】LTシリーズ 0130/0170/0220 A
到達真空度：33hPa
設計排気速度 50/60Hz：115-190/130-220㎥/h
【２段式】LTシリーズ 0320/0430/0510 A
到達真空度：33hPa
設計排気速度 50/60Hz：265-425/318-510㎥/h
【２段式】LTシリーズ 0630/0750 A
到達真空度：33hPa
設計排気速度 50/60Hz：526-626/630-750㎥/h
基本情報：
■設計排気速度 : 152～3972 m³/h
■最大差圧：＋1000 hPa(50Hz,加圧バージョン)、-500 hPa(60Hz,真空バージョン)
■定格モーター出力：22~90 kW(加圧バージョン)、11~75 kW(真空バージョン)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■設計排気速度 : 152～3972 m³/h
■最大差圧：＋1000 hPa(50Hz,加圧バージョン)、-500 hPa(60Hz,真空バージョン)
■定格モーター出力：22~90 kW(加圧バージョン)、11~75 kW(真空バージョン)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報：
■設計排気速度
PANDA WV(ガスバラ有、一般用途): 250～4500 m3/h
PANDA WZ(ガスバラ有、高気密用途): 263～3600 m3/h
PUMA WP(ガスバラ無、一般用途)：260～9535 m3/h
PUMA WY(ガスバラ無、高気密用途)：500～8100 m3/h
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■設計排気速度
PANDA WV(ガスバラ有、一般用途): 250～4500 m3/h
PANDA WZ(ガスバラ有、高気密用途): 263～3600 m3/h
PUMA WP(ガスバラ無、一般用途)：260～9535 m3/h
PUMA WY(ガスバラ無、高気密用途)：500～8100 m3/h
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
世界のプラスチック業界で、多様な用途に使われています。
【主要製品仕様】
■到達真空度: 20 - 200 hPa (mbar)
■加圧: 2 bar(g)
■設計排気速度 50 Hz: 40 - 950 m³/h
■設計排気速度 60 Hz: 40 - 1150 m³/h
【動作原理】
MINKクロー真空ポンプおよびコンプレッサーの特徴は、爪（クロー）の形をした2本のローターです。ハウジング内に取り付けられたこれらのローターは、互いに逆方向に回転します。回転で生じるクロー間に吸引したガスを補足し、圧縮、そして排気します。
ローター間、およびハウジングとのクリアランスは精密に調整されており、 圧縮チャンバー内に潤滑剤や作動流体は不要です。
MINK真空ポンプおよびコンプレッサーは、フランジ式直結モーターによって駆動し、 タイミングギヤにより、ローターの正確な同期回転を確実に行います。
詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■到達真空度: 20 - 200 hPa (mbar)
■加圧: 2 bar(g)
■設計排気速度 50 Hz: 40 - 950 m³/h
■設計排気速度 60 Hz: 40 - 1150 m³/h
【動作原理】
MINKクロー真空ポンプおよびコンプレッサーの特徴は、爪（クロー）の形をした2本のローターです。ハウジング内に取り付けられたこれらのローターは、互いに逆方向に回転します。回転で生じるクロー間に吸引したガスを補足し、圧縮、そして排気します。
ローター間、およびハウジングとのクリアランスは精密に調整されており、 圧縮チャンバー内に潤滑剤や作動流体は不要です。
MINK真空ポンプおよびコンプレッサーは、フランジ式直結モーターによって駆動し、 タイミングギヤにより、ローターの正確な同期回転を確実に行います。
詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
出展ソリューション
■ ドライ真空ポンプ：
半導体製造プロセスの高効率化と品質向上をサポートする最新のドライ真空ポンプをご紹介します。
■ ガス除害装置：
当社特許取得済みの技術を搭載。動作信頼性を最大限に高め、最高レベルのプロセスの安定性を確保します。
■ オンサイトサービス：
経験豊富な専門家が常駐し、設備の運用を管理し、故障時に迅速な対応を行います。
■ ドライポンプの修理・オーバーホール：
メーカーを問わず、高品質の修理・オーバーホールを提供します。
★評価用ドライ真空ポンプ無料貸し出し★
日本ブッシュのドライ真空ポンプはハーシュプロセスにおいても耐久性に優れ多くのお客様から高い評価を受けています。評価機貸し出しはお気軽にお問合せ下さい。
★無料コンサルティングセッション★
SEMICON Japan会期中、経験豊富な半導体分野の専門家がBusch本社より来日し、無料コンサルティングセッションを行います。お気軽にお立ち寄りください。
■ ドライ真空ポンプ：
半導体製造プロセスの高効率化と品質向上をサポートする最新のドライ真空ポンプをご紹介します。
■ ガス除害装置：
当社特許取得済みの技術を搭載。動作信頼性を最大限に高め、最高レベルのプロセスの安定性を確保します。
■ オンサイトサービス：
経験豊富な専門家が常駐し、設備の運用を管理し、故障時に迅速な対応を行います。
■ ドライポンプの修理・オーバーホール：
メーカーを問わず、高品質の修理・オーバーホールを提供します。
★評価用ドライ真空ポンプ無料貸し出し★
日本ブッシュのドライ真空ポンプはハーシュプロセスにおいても耐久性に優れ多くのお客様から高い評価を受けています。評価機貸し出しはお気軽にお問合せ下さい。
★無料コンサルティングセッション★
SEMICON Japan会期中、経験豊富な半導体分野の専門家がBusch本社より来日し、無料コンサルティングセッションを行います。お気軽にお立ち寄りください。
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
日本ブッシュ株式会社
