最終更新日:
2024-10-04 10:38:53.0
半導体業界に最適。ドライスクリューポンプのご紹介
スクリューロータ式の為、排気パスが短いドライスクリュー式真空ポンプです。
ブッシュのドライポンプは重負荷から軽負荷プロセスまで幅広く対応できるドライポンプです。
真空ポンプ・ドライポンプに関してはお問い合わせください。
スクリューロータ式の為、排気パスが短いドライスクリュー式真空ポンプ
【特徴】
○耐久性がありメンテ間隔が長くコスト低減を実現
○コンパクト設計の為移動に便利
○省スペースの真空ポンプ
○ポンプ内温度コントロールが可能
基本情報
●ポンプに関してその他機能や詳細については、カタログダウンロード
もしくはお問い合わせ下さい。
価格情報 | 各種仕様により価格は変動します。詳しくはお問い合わせください。 |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | COBRA DS シリーズ |
用途/実績例 | 【用途】 CVD、ETCH、ロードロック、PVD、トランスファチャンバー、 イオン注入機 など |
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