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最終更新日:
2024-10-01 09:34:30.0
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日:2024/10/01
~Ultra High Purity Components~
半導体、LED、FPD製造工程向け商品のご紹介パンフレットです。
半導体製造プロセスのトータルサプライヤーとして、半導体デバイス製造のファシリティから生産プロセス装置まで、薬液・ガス・真空・空圧制御トータルソリューションをご提案。
お客様の“選びやすさ”をご提供します。
薬液、純水、スラリー、ガス・不活性ガス、真空用の商品です。
エアオペレイトバルブ、マニュアルバルブ、流量センサ、レギュレータなどの単体商品から、パネル品まで取り扱っております。
関連情報
使用流体:薬液、純水、空気、N2ガス
流体温度:5〜120℃
耐圧力:1.0MPa
流体温度:5〜120℃
耐圧力:1.0MPa
まずはカタログご覧ください
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使用圧力:0~0.1※
※チューブによって最高使用圧力が異なります、ご使用されるチューブの仕様をご確認ください。
液体温度5~40℃(凍結なきこと)
作動方式:NC/NO/複動作動
チューブ外径:Φ3~φ15まで
詳細はカタログご覧ください。
※チューブによって最高使用圧力が異なります、ご使用されるチューブの仕様をご確認ください。
液体温度5~40℃(凍結なきこと)
作動方式:NC/NO/複動作動
チューブ外径:Φ3~φ15まで
詳細はカタログご覧ください。
1.125inch、Wシール対応。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
KML502:100万回動作保証、ダイアフラム耐久性向上、25%軽量化、RoHS2対応
MKML2:マニホールドタイプ、供給ポートは“上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性改善
KML703:目視できない槽内の水深が数値でわかる、省スペースと堅牢性を考慮し表示器とセンサ本体を分離
MKML2:マニホールドタイプ、供給ポートは“上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性改善
KML703:目視できない槽内の水深が数値でわかる、省スペースと堅牢性を考慮し表示器とセンサ本体を分離
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