ダイトロン株式会社

ウェーハジェットスクラバー

最終更新日: 2024-02-07 09:59:53.0
ウェーハ単体、ウェーハリング等に対応!専用ノズル追加で界面活性剤を塗布可能

当社の、純水のみで高速洗浄する『ウェーハジェットスクラバー』を
ご紹介します。

「WJS-150B」をはじめ「WJS-200B」や「WJS-300B」をラインアップ。

また、ウェーハ単体、ウェーハリング(ハーフカット、フルカット、
エクスパンド)等々、さまざまな工程に対応可能です。

【特長】
■純水のみで高速洗浄
■さまざまな工程に対応可能
■専用ノズル追加で、ブラシ洗浄時に界面活性剤(中性/弱アルカリ)を塗布可能
■オプションでブラシ押付圧力機構を取付可能

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【仕様(一部)】
■高速JET洗浄:~100kg/cm2
■ブラシ洗浄:ナイロン、ベルクリン(選択)
■超音波洗浄:1.1MHz
■2流体洗浄:専用ノズル
■ステージ回転数:3,000rpm
■品種登録数:10ch
■洗浄ステップ:20ステップ

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■ウェーハ単体、ウェーハリング(ハーフカット、フルカット、エクスパンド)等

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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