最終更新日:
2024-02-07 09:59:53.0
対応サイズはφ4~8″!試作から量産まで各種デバイスウエハーの薄板化プロセスをサポート
当社が取り扱っている『マニュアルウエハーマウンター』をご紹介します。
当装置はWAXが塗布されたウエハーを真空カップ内で支持基板へ貼り付けを
行います。
真空カップ内でウエハーと支持基板の貼付を行うことにより気泡の混入を
回避。貼付後に「エアスタンプ」処理をすることによりTTVを矯正します。
【特長】
■WAXが塗布されたウエハーを真空カップ内で支持基板へ貼り付けを行う
■真空カップ内でウエハーと支持基板の貼付を行うことにより気泡の混入を回避
■貼付後に「エアスタンプ」処理をすることによりTTVを矯正
■試作から量産まで各種デバイスウエハーの薄板化プロセスをサポート
※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様】
■型式:DMT-150
■バージョン:Type1
■対応サイズ:φ4~8″
■構成
・反転:真空貼付部
・加熱:スタンプ部
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