大気圧、ダウンストリーム型プラズマを用いることにより表面ダメージ等を排除！添加ガス種を変えることで、表面機能化分子付与を簡便に！
株式会社イー・スクエアは2001年に大気圧プラズマ装置をリリース以降、1200台以上（2021年時点 国内外表示デバイス市場・その他）の販売実績を誇る大気圧プラズマ装置専門メーカーです。
今回「ワーク表面」や「電子デバイス」にダメージを与えない表面への機能性付与の新提案です。
【掲載内容】
■はじめに～背景
■プラズマ処理形態
■大気圧プラズマ装置から発生する種々のダメージ
■現在の開発テーマ
■最後に
本資料では、大気圧プラズマ使用時の各種ダメージとその原因、電極構造の関係とダメージレス表面機能化やナノレベルの詳細について詳細されております。
※詳細はPDFをダウンロードいただくか直接お問い合わせ下さい。
【掲載内容の一部をご紹介】
＜大気圧プラズマ装置から発生する種々のダメージ＞
(1)誘導電圧（電流）発生に伴う絶縁破壊等
(2)紫外光（有機素材特性変化）
(3)表面粗れ（表面粗化またはエッチング）
(4)パーティクル発生
(5)静電気発生（集塵効果・絶縁破壊・チャージアップダメージ）
(6)アーク及びストリーマ
(7)熱（処理中）
処理形態やワークによってそのダメージは、一種のメリットになる可能性もあり、例えば、使用電極構造にもよるが、プラナー型（ダイレクト型）電極の場合、プラズマ発生時のストリーマ（微小アーク）やイオン衝突等により、ワーク表面に粗化を与え、結果的にアンカー効果により密着性の向上につながる場合もあります。
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＜大気圧プラズマ装置から発生する種々のダメージ＞
(1)誘導電圧（電流）発生に伴う絶縁破壊等
(2)紫外光（有機素材特性変化）
(3)表面粗れ（表面粗化またはエッチング）
(4)パーティクル発生
(5)静電気発生（集塵効果・絶縁破壊・チャージアップダメージ）
(6)アーク及びストリーマ
(7)熱（処理中）
処理形態やワークによってそのダメージは、一種のメリットになる可能性もあり、例えば、使用電極構造にもよるが、プラナー型（ダイレクト型）電極の場合、プラズマ発生時のストリーマ（微小アーク）やイオン衝突等により、ワーク表面に粗化を与え、結果的にアンカー効果により密着性の向上につながる場合もあります。
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大気圧プラズマにおけるダメージを与えない表面機能性付与の新提案
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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