日本エンギス株式会社

窒化アルミニウムの平滑化 加工事例

最終更新日: 2019-02-25 16:55:43.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2019/02/25

脱粒を生じさせない窒化アルミニウムの研磨技術!
熱伝導性に優れ半導体製造の真空プロセスにおける静電チャックやヒートシンク等にも使用される窒化アルミニウム。
しかし脱粒を生じやすく脱粒を起こさないよう平滑化するのは容易ではありません。今回はAlmet定盤を使用し脱粒を生じさせず、AlN基板をラッピングする加工事例をご紹介いたします。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  [必須]
ご要望  [必須]
目的  [必須]
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

日本エンギス株式会社

ページの先頭へ