日本エンギス株式会社

片面ラッピング加工( SiC 基盤の平坦化)

最終更新日: 2019-04-25 10:54:15.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2019/04/26

定盤の精度維持を容易に!GNCフェーシング機構付きラッピングマシーン
Ceramic(Al2O3)やAlN材の静電チャックより高純度、高熱伝導率、高耐電圧、高耐久性を誇るSiC静電チャック。
更なる技術革新を遂げる半導体製造装置の精度向上にともない付随するアイテムにも高精度が求められます。
今回はワークの平坦化を追求するGNC-Facing装置を搭載したラッピングマシンでの加工事例をご紹介いたします。


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