赤外線加熱型TDS
赤外線加熱型昇温脱離分析装置TDS1200_2は、超高真空中で試料をプログラム昇温した際に脱離する分子を質量分析計でリアルタイム観測する分析装置です。
PEALD-SiO2膜の水
最終更新日:
2023-08-02 18:33:38.0製品カタログ
CVD-SiN膜の水・アンモニア
最終更新日:
2023-08-02 18:33:13.0製品カタログ
昇温脱離分析法
最終更新日:
2023-08-09 15:26:16.0技術資料・事例集