富士フイルム株式会社

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【プレスケール活用事例】CMP研磨ヘッド

最終更新日: 2023-09-20 15:14:30.0
設計効率が大幅に向上!時間短縮と品質向上を実現できた事例をご紹介

プレスケールをCMP研磨ヘッドのあたり均一性確認を目的として
活用した事例をご紹介。

研磨不良の原因が不明確なまま生産を継続するため、精度が不十分であったり
不良品が頻繁に発生するなどの問題がありました。

導入後は、研磨の均一性、研磨速度の調整に有用な知見を得ることで、
時間短縮と品質向上を実現しました。

【事例概要】
■課題
・精度が不十分
・不良品が頻繁に発生
■結果
・あたりの均一性が設計時に調整でき、設計効率が大幅に向上
・CMP装置間のばらつきを抑えることができるようになった

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【成果】
■研磨時間短縮
■研磨品質向上
■機器出荷受入品質向上

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途/実績例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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