最終更新日:
2023-09-26 10:01:05.0
ケミカルリキッドのハンドリングに最適なバルブをご提案
ウェットプロセスとは生産システムの中で液体,特にケミカルリキッドを施用する工程を指し,半導体製造のコアとなる工程です。
GEMÜ製品は接液部がPTFEまたはPFAによってできており,腐食性ケミカルに影響を受けない高い耐薬品性を持ちます。
また,省スペース,フレキシブルでコンパクトなデザイン,そして圧力損失を抑えた高い流量能力といった付加価値も提供いたします。
基本情報
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【実績例】 ・エッチング,コーティング工程 ・化学薬品による洗浄工程(RCA洗浄など) ・その他半導体製造の前工程各ステップ |
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ゲミュージャパン株式会社