■目次〈抜粋〉
第1章 人から生まれる塵埃・汚染物質の発生原因と作業員教育
第2章 異物持ち込みの防止策
第3章 クリーンルーム内で生まれる異物の防止策
第4章 温度・湿度・静電気の管理手順
第5章 昆虫類の侵入・混入防止教育
第6章 クリーンルーム内作業の常識・非常識と作業員教育
第7章 半導体プロセス
第8章 電子部品・光学部品等の製造工程
第9章 化学品・材料分野
第10章 バイオロジカルクリーンルーム育
◆付録 クリーンルームに関する国内外の規格の解説
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●発刊:2020年10月30日 ●執筆者:55名 ●体裁:A4判 523頁
上製本版 : 定価 : 88,000円(税込) ISBN:978-4-86104-805-0
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定価 : 44,000円(税込) ISBN:978-4-86104-948-4
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