株式会社ハイブリッジ

東京営業所

ターボ分子ポンプ排気装置『HUVSシリーズ』

最終更新日: 2023/07/13

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

排気速度250L/秒と77L/秒の2機種からお選びいただけます
『HUVSシリーズ』は、圧縮比1×10の11乗のターボ分子ポンプを採用した
ターボ分子ポンプ排気装置です。

フルレンジ真空計を標準で搭載。ターボ分子ポンプ・ロータリーポンプ
同時起動とロータリーポンプ単独起動の切替機能も装備しております。

【特長】
■荒引ライン選択機能
■省スペース、省電力
■任意メーカの排気ポンプを選定可能
■停電時の逆流防止対策
■フォアバルブは自動リークバルブを搭載

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

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