株式会社ハイブリッジ

東京営業所

小型真空蒸着装置『HVE-100』

最終更新日: 2023-07-13 10:40:42.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】 製品画像
【その他の特長】
■抵抗加熱蒸発源
・Niメッキされた銅電極により酸化抑制工具不要で蒸着ボートの交換作業容易
・ボート以外にフィラメントの装着も可能
■基板保持機構
・Φ70の試料ステージは上蓋をハッチ式のチャンバ上蓋に設置してある為、試料交換作業が容易
・オプションで加熱/冷却機構の実装可能
■蒸着シャッタ
・手動式直線型シャッター機構により任意の安定した電流値で成膜のスタート/ストップ制御が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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