![小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/7da/2000754062/IPROS23996533698854172439.png?w=140&h=140)
【その他の特長】
■抵抗加熱蒸発源
・Niメッキされた銅電極により酸化抑制工具不要で蒸着ボートの交換作業容易
・ボート以外にフィラメントの装着も可能
■基板保持機構
・Φ70の試料ステージは上蓋をハッチ式のチャンバ上蓋に設置してある為、試料交換作業が容易
・オプションで加熱/冷却機構の実装可能
■蒸着シャッタ
・手動式直線型シャッター機構により任意の安定した電流値で成膜のスタート/ストップ制御が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■抵抗加熱蒸発源
・Niメッキされた銅電極により酸化抑制工具不要で蒸着ボートの交換作業容易
・ボート以外にフィラメントの装着も可能
■基板保持機構
・Φ70の試料ステージは上蓋をハッチ式のチャンバ上蓋に設置してある為、試料交換作業が容易
・オプションで加熱/冷却機構の実装可能
■蒸着シャッタ
・手動式直線型シャッター機構により任意の安定した電流値で成膜のスタート/ストップ制御が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。