最終更新日:
2023-07-13 10:26:26.0
クリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着ができます！
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで
設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。
シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。
【特長】
■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能
■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置
■省スペース/小型化：W500×D395mmサイズで卓上型
■お手持ちの排気系、膜厚計を取付可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の特長】
■抵抗加熱蒸発源
・Niメッキされた銅電極により酸化抑制工具不要で蒸着ボートの交換作業容易
・ボート以外にフィラメントの装着も可能
■基板保持機構
・Φ70の試料ステージは上蓋をハッチ式のチャンバ上蓋に設置してある為、試料交換作業が容易
・オプションで加熱/冷却機構の実装可能
■蒸着シャッタ
・手動式直線型シャッター機構により任意の安定した電流値で成膜のスタート/ストップ制御が可能
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