株式会社ハイブリッジ

東京営業所

高真空対応ゲートバルブ【高真空対応のベローズ軸シール】

最終更新日: 2023/07/13
高真空対応のベローズ軸シール、潤滑剤フリーのメカニズムで、コンパクトな設計!容易に取り付けられアフターメンテナンスも簡単!

『高真空対応ゲートバルブ』は、高真空対応のベローズ軸シール、潤滑剤
フリーのメカニズムで、コンパクトな設計です。低振動、高品質で多種を
ラインアップしており、リーズナブルな価格でご提供いたします。

【仕様(抜粋)】
■リーク量
 ・本体(メタルシール):2.7×10^-11 Pa・m3/sec
 ・本体(バイトンシール):2.7×10^-10 Pa・m3/sec
 ・ゲート部:1・3×10^-9 PA・m3/sec
■使用真空領域:大気圧~2.7×10^-11 Pa・m3/sec
■圧空:5Kgf/cm2
■取付方向:自由

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【その他仕様(抜粋)】
■材質
 ・本体:SUS304
 ・ゲート:SUS304
 ・ボンネット:SUS304
 ・シリンダー:A6061
 ・ベローズ:SUS304

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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